[发明专利]晶体管有效
| 申请号： | 201711167106.0 | 申请日： | 2017-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN109494245B | 公开（公告）日： | 2023-05-26 |
| 发明（设计）人： | 姚福伟;关文豪;余俊磊;蔡俊琳 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/06 | 分类号： | H01L29/06;H01L29/778 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 张福根;冯志云 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供用于有源装置的隔离结构。在一些实施例中，隔离结构用于晶体管中。晶体管包含基板，其具有第一掺杂型态。晶体管还包含通道层于基板上，且通道层包含第一部分与第二部分。晶体管还包含有源层于通道层上。隔离结构包含水平部分、第一垂直部分、与第二垂直部分。水平部分配置于通道层的第二部分下，且连续地延伸于第一垂直部分与第二垂直部分之间。隔离结构具有第二掺杂型态，且第二掺杂型态不同于第一掺杂型态。 | ||
| 搜索关键词： | 晶体管 | ||
【主权项】：
1.一种晶体管，包括：一基板，具有第一掺杂型态；一通道层，位于该基板上且包含一第一部分与一第二部分；一主动层，位于该通道层上；以及一隔离结构，包含一水平部分、一第一垂直部分、与一第二垂直部分，其中该水平部分配置于该通道区的该第二部分下，且连续地延伸于该第一垂直部分与该第二垂直部分之间，其中该隔离结构具有第二掺杂型态，且第二掺杂型态不同于第一掺杂型态。
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