[发明专利]一种抛光过程中抛光液大颗粒的实时在线监测方法在审
| 申请号： | 201711179766.0 | 申请日： | 2017-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN108051344A | 公开（公告）日： | 2018-05-18 |
| 发明（设计）人： | 楼飞燕;吕冰海;王志伟;邓乾发;陈士豪;贺乾坤 | 申请（专利权）人： | 浙江工业大学 |
| 主分类号： | G01N15/02 | 分类号： | G01N15/02 |
| 代理公司： | 杭州斯可睿专利事务所有限公司 33241 | 代理人： | 王利强 |
| 地址： | 310014 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种抛光过程中抛光液大颗粒的实时在线监测方法，包括如下步骤：(1)抽样，通过抽样系统从抛光液供给主管道中提取检测样品，所述抽样系统是利用真空技术来实现；(2)稀释，将一定量的去离子水加入所述检测样品中，充分稀释；(3)消除气泡，通过抽真空的方式将所述检测样品中的气泡消除；(4)检测，抛光液经过观察窗，启动大颗粒检测。本发明实现对抛光液中颗粒高效率，高准确性，高精度的检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抛光 过程 颗粒 实时 在线 监测 方法 | ||
【主权项】：
1.一种抛光过程中抛光液大颗粒的实时在线监测方法，其特征在于：实现所述抛光液大颗粒的实时在线监测方法的设备包括抛光液主管道、抛光液分流道阀门、稀释混合系统、气泡消除系统、样品池、激光片光源、散射光探测器和光衰减探测器，所述抛光液主管道通过抛光液分流道阀门与稀释混合系统连接，所述稀释混合系统与气泡消除系统连接，所述稀释混合系统的出口与样品池连接，所述样品池的一侧为激光片光源，所述样片池的另一侧为散射光探测器和光衰减探测器，所述检测方法包括如下步骤：(1)抽样，通过抽样系统从抛光液供给主管道中提取检测样品，所述抽样系统是利用真空技术来实现；(2)稀释，将一定量的去离子水加入所述检测样品中，充分稀释；(3)消除气泡，通过抽真空的方式将所述检测样品中的气泡消除；(4)检测，抛光液经过观察窗，启动大颗粒检测，所述检测方法利用激光散射 与激光衰减原理相结合，大颗粒由衰减光探测器测量，小颗粒由散射光探测器测量，这些光信号转化为电流通过放大，产生电压，根据颗粒大小产生不同电压，最后得到一个颗粒大小统计图，实现对抛光液中颗粒高效率，高准确性，高精度的检测。
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