[发明专利]掩膜板的制作方法及掩膜板有效
| 申请号： | 201711190767.5 | 申请日： | 2017-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN107740041B | 公开（公告）日： | 2019-08-02 |
| 发明（设计）人： | 肖灿俊;徐健;刘耀阳 | 申请（专利权）人： | 上海天马微电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444 | 代理人： | 王刚;龚敏 |
| 地址： | 201201 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请涉及显示技术领域，尤其涉及一种掩膜板的制作方法及掩膜板。该掩膜板的制作方法包括：获得具有多个像素开孔的掩膜，各所述像素开孔排列成至少一个矩形图案区域，所述矩形图案区域包括与所述显示面板的显示区域对应的第一区域及除所述第一区域之外的第二区域；将所述掩膜与掩膜框架进行对位，并将所述掩膜固定在所述掩膜框架上；封堵位于所述第二区域上的各所述像素开孔，以形成所述掩膜板。该技术方案能够缓解掩膜张网时容易产生褶皱的情况，从而解决由此导致的显示面板混色不良，产品良率降低的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜 掩膜板 开孔 像素 第二区域 第一区域 矩形图案 显示面板 制作 褶皱 产品良率 显示区域 对位 封堵 混色 张网 缓解 申请 | ||
【主权项】：
1.一种掩膜板的制作方法，所述掩膜板用于制作显示面板，其特征在于，所述制作方法包括：获得具有多个像素开孔的掩膜，各所述像素开孔排列成至少一个矩形图案区域，所述矩形图案区域包括与所述显示面板的显示区域对应的第一区域及除所述第一区域之外的第二区域；将所述掩膜与掩膜框架进行对位，并将所述掩膜固定在所述掩膜框架上；封堵位于所述第二区域上的各所述像素开孔，以形成所述掩膜板；在将所述掩膜固定在所述掩膜框架的过程中，保持所述矩形图案区域上至少两条相对设置的边与对所述掩膜的拉伸方向平行。
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