[发明专利]极紫外光光刻系统、液滴产生器的靶材供料系统及将靶材连续供料至液滴产生器的系统在审
| 申请号： | 201711219782.8 | 申请日： | 2017-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN109507849A | 公开（公告）日： | 2019-03-22 |
| 发明（设计）人： | 蔡明训 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 冯志云;张福根 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本公开实施例提供极紫外光光刻系统。此系统包含极紫外光扫描模块，极紫外光收集器用于收集极紫外光辐射并将其引导至极紫外光扫描模块，液滴产生器用于产生熔融态金属的液滴，脉冲激光产生器作用于熔融态的金属液滴，以产生作为极紫外光辐射来源的等离子体，以及靶材供料系统。靶材供料系统包含用于容纳金属的容器，加热装置配置为加热容器内的金属至高于金属的熔化温度的温度，以及供料管具有连接至容器的上游端与和连接至液滴产生器的下游端，使得容器与液滴产生器流体连通。 | ||
| 搜索关键词： | 液滴产生器 极紫外光 靶材 供料系统 光刻系统 扫描模块 金属 等离子体 熔化 加热装置配置 熔融态金属 紫外光辐射 紫外光 加热容器 金属液滴 连续供料 流体连通 脉冲激光 产生器 此系统 供料管 熔融态 上游端 收集极 收集器 下游端 液滴 容纳 辐射 | ||
【主权项】：
1.一种极紫外光光刻系统，包括：一极紫外光扫描模块；一极紫外光收集器，以收集极紫外光辐射且将该极紫外光辐射引导至该极紫外光扫描模块；一液滴产生器，用于产生一熔融态的一金属的液滴；一脉冲激光产生器，作用于该熔融态的该金属的该液滴，以产生等离子体作为该极紫外光辐射的一来源；以及一靶材供料系统，包含：一容器，用于容纳该金属；一加热装置，配置为将该容器内的该金属加热至高于该金属的一熔化温度的一温度；以及一供料管，具有一上游端连接至该容器，和一下游端连接至该液滴产生器，使得该容器与该液滴产生器流体连通。
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