[发明专利]一种基于软质磨料固着磨具的钽酸锂抛光方法在审
| 申请号： | 201711221109.8 | 申请日： | 2017-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN108081117A | 公开（公告）日： | 2018-05-29 |
| 发明（设计）人： | 杭伟;张韬杰;吕冰海;邓乾发;黄晟;王洁;曹霖霖;陈芝向 | 申请（专利权）人： | 浙江工业大学 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/14;B24D18/00 |
| 代理公司： | 杭州斯可睿专利事务所有限公司 33241 | 代理人： | 李百玲 |
| 地址： | 310014 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种基于软质磨料固着磨具的钽酸锂抛光方法，包括以下步骤：1)基于软质磨料固着磨具原料的配制；2)将配置好的配料在模具中热压成形，脱模后完成热固化，并对其上下端面进行修整，保证磨具上下端面的平整度和平行度；3)将钽酸锂抛光磨具安装于抛光机的上盘，待加工的钽酸锂晶片放置在会旋转的抛光机下盘，用夹具固定住，启动抛光机，并在上下盘之间注入碱性水基冷却液；加工过程中氧化剂、磨粒和钽酸锂晶片发生固相反应，在钽酸锂晶片表面形成一层软质的、易去除的反应生成物，利用磨料与生成物层之间的摩擦作用将生成物层去除，从而实现钽酸锂晶片的抛光。本发明能够提高钽酸锂晶片的去除率并能降低粗糙度，提高加工效率、降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 钽酸锂晶片 软质磨料 抛光机 钽酸锂 抛光 固着 磨具 去除 夹具 磨料 氧化剂 反应生成物 水基冷却液 表面形成 固相反应 加工效率 磨具原料 摩擦作用 抛光磨具 热压成形 上下端面 粗糙度 平整度 热固化 磨粒 软质 上盘 脱模 下盘 修整 模具 配制 配置 加工 保证 | ||
【主权项】：
1.一种基于软质磨料固着磨具的钽酸锂晶片抛光方法，其特征在于，所述抛光方法包括以下步骤：1)软质磨料固着磨具原料的配制：纳米二氧化硅40％～60％、粘结剂20％～40％、固化剂10％～15％、氧化剂5％～10％、去离子水10％～15％、碱性PH调节剂5％～10％；2)软质磨料固着磨具的制作：在去离子水中加入固化剂，并搅拌使其溶解，随后加入结合剂、纳米二氧化硅、氧化剂和碱性PH调节剂，将其搅拌均匀，将配置好的配料在模具中热压成形，脱模后完成热固化，并对其上下端面进行修整，保证磨具上下端面的平整度和平行度；3)软质磨料固着磨具对钽酸锂晶片的抛光：将钽酸锂抛光磨具安装于抛光机的上盘，待加工的钽酸锂晶片放置在会旋转的抛光机下盘，用夹具固定住，启动抛光机，并在上下盘之间注入碱性水基冷却液；钽酸锂抛光磨具上的氧化剂和磨粒对钽酸锂面进行划擦并发生固相反应，从而实现对钽酸锂晶片的抛光。
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