[发明专利]一种基片固定装置及包含其的PVD立式产线设备

摘要

本发明涉及太阳能电池生产设备技术领域，具体涉及一种基片固定装置，包括顶板和设置在顶板上方与顶板相适配的载板，顶板上设置有多个顶销，载板上开设有用以放置基片的载板凹槽，载板凹槽的边侧设置有多个基片压紧装置，顶销与基片压紧装置一一对应，基片压紧装置包括用以压紧基片的旋转压块和带动旋转压块转动的压块驱动单元。本发明提供的一种基片固定装置及包含其的PVD立式产线设备，可以将基片与载板固定在一起，实现90°直立运动，减小产线设备宽度，且载板直立运动可便于实现回转运动，减小产线设备长度；同时，固定装置结构简单，不需要额外的辅助机械结构，便于实现基片装卸载自动化，有利于产线设备推广。

主权项

一种基片固定装置，其特征在于，包括顶板(1)和设置在所述顶板(1)上方与所述顶板(1)相适配的载板(2)，所述顶板(1)上设置有多个顶销(3)，所述载板(2)上开设有用以放置基片(11)的载板凹槽(21)，所述载板凹槽(21)的边侧设置有多个基片压紧装置，所述顶销(3)与所述基片压紧装置一一对应，所述基片压紧装置包括用以压紧所述基片(11)的旋转压块和带动所述旋转压块转动的压块驱动单元。