[发明专利]基于柔性薄膜封装的平板探测器及其制备方法在审
| 申请号： | 201711236676.0 | 申请日： | 2017-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN108107060A | 公开（公告）日： | 2018-06-01 |
| 发明（设计）人： | 顾铁;杨华 | 申请（专利权）人： | 上海奕瑞光电子科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/04 | 分类号： | G01N23/04;G01T1/202;H01L27/146;H01L31/08 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 佟婷婷 |
| 地址： | 201201 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基于柔性薄膜封装的平板探测器及其制备方法，制备方法包括：提供一支撑基板，并于支撑基板上形成离型层；于离型层上形成阻挡层，于阻挡层上形成柔性基底层；剥离去除支撑基板及离型层，得到一柔性薄膜；提供一形成有闪烁体层的感光器阵列，将柔性薄膜制作于感光器阵列上，柔性薄膜覆盖闪烁体层且阻挡层远离所述闪烁体层，得到平板探测器。通过上述方案，本发明可以通过简单的工艺完成平板探测器的制备，成本低，并且通过含有阻挡层、柔性基底层以及反射层构成的三明治的柔性薄膜封装结构，可以有效改善平板探测器碘化铯封装防水、耐磨性能，工艺兼容好，成像质量高。 | ||
| 搜索关键词： | 平板探测器 阻挡层 制备 柔性薄膜封装 柔性薄膜 闪烁体层 支撑基板 离型层 感光器阵列 柔性基底层 三明治 工艺兼容 耐磨性能 碘化铯 反射层 成像 封装 去除 防水 剥离 覆盖 制作 | ||
【主权项】：
1.一种基于柔性薄膜封装的平板探测器的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：1)提供一支撑基板，并于所述支撑基板上形成离型层；2)于所述离型层上形成阻挡层，并于所述阻挡层上形成柔性基底层；3)剥离去除所述支撑基板及所述离型层，剩余结构层构成一柔性薄膜；以及4)提供一形成有闪烁体层的感光器阵列，并将所述柔性薄膜制作于所述感光器阵列上，所述柔性薄膜覆盖所述闪烁体层且所述阻挡层远离所述闪烁体层，得到平板探测器。
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