[发明专利]不同真空度腔室间的传样互联装置有效
申请号: | 201711236807.5 | 申请日: | 2017-11-30 |
公开(公告)号: | CN108045959B | 公开(公告)日: | 2020-02-04 |
发明(设计)人: | 刘大猛;张晨辉;王婷;雒建斌;赵嘉峰;欧宏炜;刘鹏 | 申请(专利权)人: | 清华大学;费勉仪器科技(上海)有限公司 |
主分类号: | B65G51/01 | 分类号: | B65G51/01 |
代理公司: | 11127 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人: | 王春光 |
地址: | 10008*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供一种不同真空度腔室间的传样互联装置,其包括压强均小于标准大气压的第一腔室和第二腔室,第一腔室内的压强小于第二腔室内的压强,第二腔室沿周向依次设有第一接口、第二接口、第三接口和第四接口,第二腔室通过第一接口与第一腔室相连,第一腔室与第二腔室之间设有闸板阀,第四接口通过能泄压的快门阀与手套箱相连,第二接口密封穿设有能滑动于手套箱与第二腔室之间的第一传样杆,第三接口密封穿设有能滑动于第一腔室与第二腔室之间的第二传样杆。本发明能实现在不同真空度的腔室内进行样品的传递,保证不同真空度腔体环境,安全可靠。 | ||
搜索关键词: | 不同 真空 度腔室间 传样互联 装置 | ||
【主权项】:
1.一种不同真空度腔室间的传样互联装置,其特征在于,所述不同真空度腔室间的传样互联装置包括压强均小于标准大气压的第一腔室和第二腔室,所述第一腔室内的压强小于所述第二腔室内的压强,所述第二腔室沿周向依次设有第一接口、第二接口、第三接口和第四接口,所述第二腔室通过所述第一接口与所述第一腔室相连,所述第一腔室与所述第二腔室之间设有闸板阀,所述第四接口通过能泄压的快门阀与手套箱相连,所述第二接口密封穿设有能滑动于所述手套箱与所述第二腔室之间的第一传样杆,所述第三接口密封穿设有能滑动于所述第一腔室与所述第二腔室之间的第二传样杆;/n所述第一传样杆包括位于所述第二腔室外的操作端和位于所述第二腔室内的盛放端,所述第二传样杆也包括位于所述第二腔室外的操作端和位于所述第二腔室内的盛放端,所述第一传样杆的盛放端和所述第二传样杆的盛放端均能固设托盘;/n所述托盘呈圆形,所述托盘沿周向等间隔的设有多个凹槽,每个所述凹槽内能拆卸的插设盛放样品的样品托。/n
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