[发明专利]安全装置、工件台及光刻机在审
| 申请号： | 201711244617.8 | 申请日： | 2017-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN109856917A | 公开（公告）日： | 2019-06-07 |
| 发明（设计）人： | 丛国栋 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种安全装置、工件台及光刻机，所述安全装置固定在工件台面上，所述工件台面运动时，带动所述安全装置一起运动，所述安全装置的作用块组件位于第一基准线上，安全销组件位于第二基准线上，所述第一基准线和所述第二基准线之间的夹角小于或等于90度，所述作用块组件包括驱动单元和作用块，所述驱动单元能够驱动所述作用块往返运动，带动所述插销伸出所述导向单元的端面或缩进所述导向单元的端面内，通过驱动单元与作用块的配合，使得作用块组件与安全销组件变为非轴向的布置，将轴向尺寸大大压缩，满足了轴向尺寸紧张场合的使用要求。 | ||
| 搜索关键词： | 作用块 安全装置 基准线 驱动单元 工件台 安全销组件 导向单元 光刻机 轴向 工件台面 往返运动 组件包括 插销 非轴向 缩进 伸出 驱动 压缩 配合 | ||
【主权项】：
1.一种安全装置，其特征在于，所述安全装置包括作用块组件和安全销组件，所述作用块组件位于第一基准线上，所述安全销组件位于第二基准线上，所述第一基准线和所述第二基准线之间具有一小于或等于90度的夹角；所述作用块组件包括驱动单元和作用块，所述驱动单元能够驱动所述作用块沿着所述第一基准线往返运动；所述安全销组件包括导向单元和设置于所述导向单元内的插销，所述插销包括第一端和第二端，所述第二端较所述第一端远离所述作用块；所述驱动单元驱动所述作用块沿着所述第一基准线往返运动时，所述作用块带动所述插销的第二端沿着所述第二基准线伸出所述导向单元或缩进所述导向单元内。
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