[发明专利]掩膜板有效

专利信息
申请号: 201711249267.4 申请日: 2017-12-01
公开(公告)号: CN107885030B 公开(公告)日: 2021-02-26
发明(设计)人: 农艳菲;龚建国;冉应刚;吴俊雄;王衣可;柯贤军;苏君海;李建华 申请(专利权)人: 信利(惠州)智能显示有限公司
主分类号: G03F1/68 分类号: G03F1/68
代理公司: 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人: 叶剑
地址: 516029 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明涉及一种掩膜板,包括:空闲区和至少一个有效蒸镀区,空闲区设置于有效蒸镀区的外侧;至少一个有效蒸镀区开设有多个蒸镀开口,各蒸镀开口均匀分布设置;有效蒸镀区与空闲区之间还设置有过渡区,过渡区包围有效蒸镀区设置,过渡区的厚度小于有效蒸镀区的厚度,且小于空闲区的厚度。通过在有效蒸镀区和空闲区之间设置过渡区,由于该过渡区的厚度相对于有效蒸镀区以及空闲区的厚度更小,使得过渡区的强度较小,当在掩膜板两端施加拉力时,在力的传递过程中,拉力受到的反作用逐渐减小,使得空闲区到有效蒸镀区的变形能平缓过渡,有效减小褶皱,减小有效蒸镀区的形变,使得蒸镀效果更佳,从而提高蒸镀的产品良率。
搜索关键词: 掩膜板
【主权项】:
一种掩膜板,其特征在于,包括空闲区和至少一个有效蒸镀区,所述空闲区设置于所述有效蒸镀区的外侧;所述至少一个有效蒸镀区开设有多个蒸镀开口,各所述蒸镀开口均匀分布设置;所述有效蒸镀区与所述空闲区之间还设置有过渡区,所述过渡区包围所述有效蒸镀区设置,所述过渡区的厚度小于所述有效蒸镀区的厚度,且小于所述空闲区的厚度。
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