[发明专利]超临界流体制造装置和基板处理装置

摘要

本发明提供一种超临界流体制造装置和基板处理装置。超临界流体制造装置能够吸收在超临界流体制造装置内流动的处理流体的压力变动或脉动，并且能够防止缓冲罐中滞留微粒的不良情况。超临界流体制造装置(70)具备气体供给线(71a)、冷却器(72)、泵(74)、缓冲罐(80)、加热装置(75)以及超临界流体供给线(71c)。在缓冲罐(80)的规定位置设置有供来自泵(74)的处理流体流入的流入口(83)，在与流入口(83)不同的位置设置有供处理流体流出的流出口(84)。缓冲罐(80)具有用于贮存来自泵(74)的处理流体的缓冲罐主体(85)以及对被送入到缓冲罐主体(85)中的处理流体进行加热的加热器(86)。

主权项

一种超临界流体制造装置，具备：气体供给线，其用于供给气体状的处理流体；冷却器，其与所述气体供给线连接，通过对来自所述气体供给线的气体状的处理流体进行冷却来生成液体状的处理流体；泵，其与所述冷却器连接，将来自所述冷却器的液体状的处理流体的压力提高后将该处理流体送出；缓冲罐，其与所述泵连接，吸收来自所述泵的处理流体的压力变动或脉动；加热装置，其与所述缓冲罐连接，对来自所述缓冲罐的处理流体进行加热；以及超临界流体供给线，其与所述加热装置连接，用于送出来自所述加热装置的超临界状态的处理流体，其中，在所述缓冲罐的规定位置设置有供来自所述泵的处理流体流入的流入口，在所述缓冲罐中的与所述流入口不同的位置设置有供处理流体流出的流出口，所述缓冲罐具有用于贮存来自所述泵的处理流体的缓冲罐主体以及对被送入到所述缓冲罐主体中的处理流体进行加热的加热器。