[发明专利]微发光二极管转移的方法、制造方法、装置和电子设备在审
| 申请号： | 201711259921.X | 申请日： | 2017-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN107919414A | 公开（公告）日： | 2018-04-17 |
| 发明（设计）人： | 冯向旭;陈培炫;邹泉波 | 申请（专利权）人： | 歌尔股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L27/15 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙)11442 | 代理人： | 王昭智,马佑平 |
| 地址： | 261031 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微发光二极管的转移方法、制造方法、装置和电子设备。该转移方法包括按照蓝色微发光二极管、绿色微发光二极管、红色微发光二极管的先后顺序，在同一GaAs原始衬底上外延生长其中两种或三种颜色的微发光二极管；在接收衬底上外延生长对应于所述微发光二极管的凸点电极；使所述两种或三种颜色的微发光二极管与接收衬底上的凸点电极键合；去除GaAs原始衬底。利用该方法可实现一次性转移多种颜色的微发光二极管，提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 发光二极管 转移 方法 制造 装置 电子设备 | ||
【主权项】：
一种用于微发光二极管转移的方法，其特征在于，包括：按照蓝色微发光二极管、绿色微发光二极管、红色微发光二极管的先后顺序，在同一GaAs原始衬底上的对应选定区域外延生长其中两种或三种颜色的微发光二极管，然后制作金属电极；在接收衬底上形成对应于所述微发光二极管的凸点电极；使所述两种或三种颜色的微发光二极管的金属电极与接收衬底上的凸点电极键合；去除GaAs原始衬底。
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