[发明专利]一种高效的蚀刻设备在审

专利信息
申请号: 201711265402.4 申请日: 2017-12-05
公开(公告)号: CN107833853A 公开(公告)日: 2018-03-23
发明(设计)人: 张进元 申请(专利权)人: 昆山市苏元电子集团有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;B08B3/02;B08B3/14
代理公司: 苏州六一专利代理事务所(普通合伙)32314 代理人: 沈陈
地址: 215000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 一种高效的蚀刻设备,包括底板、位于所述底板上方的喷药装置、位于所述喷药装置左侧的支架装置、设置于所述支架装置上的电机装置、位于所述底板上方的支撑板装置、设置于所述底板上的旋转板装置、设置于所述支架装置上的喷水装置。本发明能够将喷过后的化学药液及水充分的分开回收,进而可以减少资源的浪费,并且可以防止对环境造成污染,操作简单,自动化程度高,使用方便。
搜索关键词: 一种 高效 蚀刻 设备
【主权项】:
一种高效的蚀刻设备,包括底板、位于所述底板上方的喷药装置、位于所述喷药装置左侧的支架装置、设置于所述支架装置上的电机装置、位于所述底板上方的支撑板装置、设置于所述底板上的旋转板装置、设置于所述支架装置上的喷水装置,其特征在于:所述底板上设有位于其下方的若干万向轮、位于其上方的第一回收箱、位于所述第一回收箱右侧的第一定位块、位于所述第一回收箱左侧的第二回收箱、位于所述第二回收箱左侧的第二定位块,所述喷药装置包括第一支撑杆、位于所述第一支撑杆上方的第一横板、位于所述第一横板上方的药箱、设置于所述药箱上的第一管道、设置于所述第一管道上的第一水泵、设置于所述第一管道端部的第一喷头、设置于所述第一喷头上的第一固定杆,所述支架装置包括第二支撑杆、位于所述第二支撑杆上方的第一横杆、设置于所述第一横杆上的第一滚轮、位于所述第一横杆上方的第一竖杆、设置于所述第一竖杆上的第二横杆、设置于所述第二横杆右端的第二滚轮,所述电机装置包括第三横杆、位于所述第三横杆上方的电机、设置于所述电机上的输出轴、设置于所述输出轴上的拉线、位于所述电机上方的第二固定杆、设置于所述第二固定杆上端的第三滚轮,所述支撑板装置包括支撑板、位于所述支撑板上方的框体、位于所述框体左侧的第三固定杆、位于所述第三固定杆下方的第一弹簧、位于所述支撑板下方的集中框、位于所述集中框下方的过滤网、位于所述集中框右侧的连接杆、位于所述连接杆下方的推动块,所述旋转板装置包括第三支撑杆、位于所述第三支撑杆上方的连接块、位于所述连接块上方的旋转板、位于所述第三支撑杆左侧的第二弹簧,所述喷水装置包括第四支撑杆、位于所述第四支撑杆上方的第二横板、位于所述第二横板上方的水箱、设置于所述水箱上的第二管道、设置于所述第二管道上的第二水泵、设置于所述第二管道端部的第二喷头、设置于所述第二喷头上的第四固定杆。
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