[发明专利]一种对准图案制作方法

摘要

本发明涉及一种对准图案制作方法，包括：提供一衬底，在衬底的上表面上形成第一对准图案；在衬底的上表面形成阻挡层，阻挡层覆盖第一对准图案，并在阻挡层中形成第二对准图案；在阻挡层上形成抗蚀图案层，抗蚀图案层覆盖第二对准图案；在抗蚀图案层中形成多个间隔排布的定义图形边界区，以构成复合式硬掩膜层，其中第一对准图案延伸分布在相邻的多个定义图形边界区之间，第二对准图案延伸分布在相邻的多个定义图形边界区之间，使第一对准图案和第二对准图案皆为连续图案并以多个定义图形边界区分隔成多个图案区块。本发明方法简化了对准图案的制作难度，提高了各层对准图案叠合的套准精度和完整性，减少图形杂讯。

主权项

1.一种对准图案制作方法，其特征在于，包括：提供一衬底，在所述衬底的上表面上形成第一对准图案；在所述衬底的所述上表面形成阻挡层，所述阻挡层覆盖所述第一对准图案，并在所述阻挡层中形成第二对准图案；在所述阻挡层上形成抗蚀图案层，所述抗蚀图案层覆盖所述第二对准图案；在所述抗蚀图案层中形成多个间隔排布的定义图形边界区，以构成复合式硬掩膜层，其中所述第一对准图案延伸分布在相邻的多个所述定义图形边界区之间，所述第二对准图案延伸分布在相邻的多个所述定义图形边界区之间，使所述第一对准图案和所述第二对准图案皆为连续图案并以多个所述定义图形边界区分隔成多个图案区块。