[发明专利]一种快速分析全氟丙烷中多种杂质的检测装置及方法

摘要

本发明涉及电子工业以及医用药物检测技术领域，具体的说是一种快速分析全氟丙烷(C3F8)中多种杂质的检测装置及测定分析方法。本发明为了提供一种快速、简单、高效、准确的分析方法，用于电子工业、医用药物等应用领域全氟丙烷气体中碳氟化物杂质的检测与分析，采用飞行时间质谱技术检测碳氟化物杂质，关键在于控制飞行时间质谱技术待测样品进样系统各项参数与飞行时间质谱正/负离子检测模式。通过控制关键技术实现快速、简单、高效、准确检测的目的，本发明所涉及装置及方法具备分析快速、操作方便、重复性好、结果准确可靠等诸多优点。同时该装置及方法具备较高的检测灵敏度，通过对微量样品进行一次检测即可快速分析所需结果，实用性强，为全氟丙烷生产、应用过程中多种碳氟化物杂质检测提供了一种有效、快速的方法。

主权项

1.一种快速分析全氟丙烷中多种杂质的检测装置，包括样品气体进样系统(1)、置于密闭腔室中的化学电离源腔体(2)及质谱仪(15)，其特征在于：所述样品气体进样系统(1)为一由密闭样品腔(7)、进样器(8)、进样管路A(9)、进样管路B(10)以及进样管路C(11)所组成的密闭系统；进样管路C(11)一端与载气气源(3)相连接，另一端与样品腔(7)相连接；进样管路A(9)一端与样品腔(7)相连接，另一端通过推斥电极(12)上的通孔与化学电离源腔体(2)相连；进样管路B(10)一端与试剂气体气源(4)相连接，另一端通过推斥电极(12)上的通孔与化学电离源腔体(2)密闭相连；进样器(8)的出口与样品腔(7)相连接；所述化学电离源腔体(2)为一实现待测样品电离与反应的密闭腔体，从上至下依次有板状推斥电极(12)、2个以上平行设置的、中部带同轴通孔的板状电极构成的聚焦电极(13)和中部带通孔的差分接口极板(14)；于推斥电极(12)和聚焦电极(13)之间设有电离源(17)，构成聚焦电极(13)的板状电极中部通孔和差分接口极板(14)中部通孔同轴；远离电离源(17)的差分接口极板(14)一端设有质谱仪(15)。