[发明专利]沟槽弯曲度测量方法及装置、缺陷数量预测方法及装置有效
| 申请号： | 201711283009.8 | 申请日： | 2017-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN108036736B | 公开（公告）日： | 2020-03-13 |
| 发明（设计）人： | 张彪;芈健;邵克坚;王琨;乐陶然;陈保友 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人： | 刘广达 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉市洪山区东*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种沟槽弯曲度测量方法及装置，以及一种缺陷数量预测方法及装置。其中，该沟槽弯曲度测量方法，包括：获取待测区域的形貌影像，根据所述形貌影像确定所述待测区域内沟槽的粗糙度，根据所述粗糙度确定所述待测区域的沟槽弯曲度。相较于现有技术，本发明利用形貌影像实现了对沟槽弯曲度的自动化定量测量，准确度更高。 | ||
| 搜索关键词： | 沟槽 弯曲 测量方法 装置 缺陷 数量 预测 方法 | ||
【主权项】：
1.一种沟槽弯曲度测量方法，其特征在于，包括：获取待测区域的形貌影像，所述待测区域内开设有沟槽；根据所述形貌影像，确定所述待测区域内沟槽的粗糙度；根据所述粗糙度确定所述待测区域的沟槽弯曲度。
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