[发明专利]研磨垫及研磨方法有效
| 申请号： | 201711291871.3 | 申请日： | 2017-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN108214280B | 公开（公告）日： | 2021-01-15 |
| 发明（设计）人： | 王裕标;陈忆萍 | 申请（专利权）人： | 智胜科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/015 | 分类号： | B24B37/015;B24B37/26;B24B37/34 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 马雯雯;臧建明 |
| 地址： | 中国台湾*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种研磨垫及研磨方法，该研磨垫适用于使用包含水的研磨液的研磨程序，且包括研磨轨迹区域及第一反应物，其中研磨轨迹区域具有中央区域以及围绕中央区域的周边区域，第一反应物配置于研磨轨迹区域的中央区域内，且第一反应物可与研磨液中的水发生吸热反应。本发明的研磨垫在进行研磨程序期间，可减少研磨垫的温度梯度或改变研磨垫的温度分布，而具有良好的应用性。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 方法 | ||
【主权项】：
1.一种研磨垫，其特征在于，适用于使用包含水的研磨液的研磨程序，所述研磨垫包括：研磨轨迹区域，具有中央区域以及围绕所述中央区域的周边区域，以及第一反应物，配置于所述研磨轨迹区域的所述中央区域内，其中所述第一反应物可与所述研磨液中的水发生吸热反应。
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