[发明专利]红外线感测元件及其制造方法有效
| 申请号： | 201711307446.9 | 申请日： | 2017-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN109873045B | 公开（公告）日： | 2020-12-22 |
| 发明（设计）人： | 许丰家;张勋承;陈鹏仁;苏中源 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | H01L31/09 | 分类号： | H01L31/09;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种红外线感测元件及其制造方法。该红外线感测元件包括基板、红外线吸收层及孔槽。红外线吸收层形成于基板上且具有感测面。孔槽从红外线吸收层的感测面往基板的方向延伸。 | ||
| 搜索关键词： | 红外线 元件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种红外线感测元件，其特征在于，包括：基板；红外线吸收层，形成于该基板上且具有一感测面；以及孔槽，从该红外线吸收层的该感测面往该基板的方向延伸。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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