[发明专利]一种含有纤维素材料的干膜光阻剂在审
| 申请号： | 201711308817.5 | 申请日： | 2017-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN108227379A | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 高代兵;杨卫国;杜永杰 | 申请（专利权）人： | 珠海市能动科技光学产业有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/033 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 黄琳娟 |
| 地址： | 519050 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种含有纤维素材料的干膜光阻剂，包括以下重量份数的组分：25‑75份含有羧基的高分子粘合剂，2‑10份自由基引发剂，8‑30份光聚合单体，0.005‑0.02份热聚合抑制剂，2‑10份增塑剂和2‑20份纤维素材料。本发明将纤维素材料和增塑剂添加于光膜光阻剂中，协同作用，可以提高干膜的柔韧性，从而能够增强膜的封孔能力；将使用纤维素材料，能够增加膜的零剪切粘度，从而减少冷流的形成，降低膜出现流胶的情况。 | ||
| 搜索关键词： | 纤维素材料 干膜光阻 高分子粘合剂 热聚合抑制剂 自由基引发剂 光聚合单体 零剪切粘度 增塑剂添加 柔韧性 重量份数 光阻剂 增强膜 增塑剂 封孔 干膜 光膜 冷流 流胶 羧基 | ||
【主权项】：
1.一种含有纤维素材料的干膜光阻剂，其特征在于，包括以下重量份数的组分：![]()
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