[发明专利]蒸镀方法以及蒸镀装置有效
| 申请号： | 201711338456.9 | 申请日： | 2017-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN109957762B | 公开（公告）日： | 2020-11-27 |
| 发明（设计）人： | 万冀豫;汪栋;宋勇志;姜晶晶;齐鹏煜 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 王辉;阚梓瑄 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开涉及蒸镀技术领域，公开了一种蒸镀方法，该蒸镀方法包括：给靶材施加激励声波，使靶材的设定部位的粒子的能量高于所述粒子脱离所述靶材需要的能量而脱离所述靶材附着于基板的设定区域。使用该蒸镀方法避免蒸镀材料的损失，提高蒸镀材料的利用率，从而降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 方法 以及 装置 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀方法，其特征在于，包括：给靶材施加激励声波，使靶材的设定部位的粒子的能量高于所述粒子脱离所述靶材需要的能量而脱离所述靶材附着于基板的设定区域。
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