[发明专利]一种玻璃基板蚀刻液在审
| 申请号： | 201711340063.1 | 申请日： | 2017-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN107954608A | 公开（公告）日： | 2018-04-24 |
| 发明（设计）人： | 张杰;沈励;郑建军;姚仕军;夏伟;吴青肖 | 申请（专利权）人： | 天津美泰真空技术有限公司 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00 |
| 代理公司： | 天津合志慧知识产权代理事务所(普通合伙)12219 | 代理人： | 宋西磊 |
| 地址： | 300000 *** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种玻璃基板蚀刻液，该蚀刻液由包括如下重量百分比的原料制备得到NaF10‑15％，NH4F10‑15％，盐酸1‑5％，醋酸5‑10％，磺酸5‑10％，乙二胺四乙酸(EDTA)1‑5％，表面活性剂1‑2％，硝酸盐1‑5％，硫酸盐1‑5％，及余量的水。该玻璃基板蚀刻液通过优化配方，由氟化物提供F‑，盐酸、醋酸、磺酸提供H+，同样达到了蚀刻玻璃的效果，还避免使用氢氟酸，且蚀刻效果良好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 玻璃 蚀刻 | ||
【主权项】：
一种玻璃基板蚀刻液，其特征在于：该蚀刻液由包括如下重量百分比的原料制备得到：NaF:10‑15％，NH4F:10‑15％，盐酸:1‑5％，醋酸:5‑10％，磺酸:5‑10％，乙二胺四乙酸(EDTA):1‑5％，表面活性剂:1‑2％，硝酸盐:1‑5％，硫酸盐:1‑5％，及余量的水。
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