[发明专利]一种太阳能电池片的制造工艺

摘要

本发明涉及太阳能技术领域，尤其是一种太阳能电池片的制造工艺，包括以下步骤：S1、检测；S2、制绒；S3、扩散制结；S4、去磷硅玻璃；S5、镀膜；S6、丝网印刷。本发明提供了一种新型太阳能电池片的制造工艺，简化了生产流程，易于实现，且能够有效提高生产效率，有助于太阳能产业发展。

主权项

1.一种太阳能电池片的制造工艺，其特征在于，包括以下步骤：S1、检测：对需要加工的硅片进行清洗和检测，去除不合格硅片；S2、制绒：将经过检测的合格硅片放入碱性溶液中进行表面制绒处理；S3、扩散制结：A1、将制绒后的硅片放入扩散炉中，扩散炉中温度维持800-815℃，持续8min，同时向扩散炉中通入大氮、氧气和小氮的混合气体，小氮流量为3-4L/min，氧气流量为1-1.5L/min，大氮流量为8-10L/min；A2、将扩散炉内的温度升高至825℃，之后保温10-15min，之后通入大氮、氧气和小氮的混合气体，混合气体流量为15-20L/min，氧气占混合气体的体积比为25-35%；A3、在10min内使扩散炉中温度降低至750℃，在此过程中通入大氮、氧气的混合气体，氧气占混合气体的体积比为18-27%；S4、去磷硅玻璃：将扩散制结后的硅片放入氢氟酸中浸泡，以去除扩散制结后在硅片表面形成的一层磷硅玻璃；S5、镀膜：通过PECVD设备在硅片表面制备减反射膜；S6、丝网印刷：将镀有减反射膜的硅片采用丝网印刷的方式在硅片的上下表面印制正、负电极；S7、烘干及烧结。