[发明专利]一种CZTS薄膜的新型退火方式

摘要

本发明公开一种CZTS薄膜的新型退火方式，包括有以下步骤(1)将0.5g粉末硫置于单端封闭之玻璃管的封闭侧，并将CZTS薄膜置于玻璃管内并靠近玻璃管的开放端，将玻璃管的开放端连接于橡胶管；本发明通过将CZTS薄膜和一定量的粉末硫密封在玻璃管内，然后在高均匀性的退火炉里进行加热退火的方式获得了高质量的CZTS薄膜。因为腔体小，所消耗原料少；因整个退火过程在密封的玻璃管内进行，不会对环境造成污染；同时，整个退火过程中，薄膜所处空间内，一直有饱和原料蒸气压，可以保证原料气压的稳定性；最后，高度温度均匀性的退火炉可以保证整个退火过程的均匀性。

主权项

一种CZTS薄膜的新型退火方式，其特征在于：包括有以下步骤：(1)将0.5g粉末硫置于单端封闭之玻璃管的封闭侧，并将CZTS薄膜置于玻璃管内并靠近玻璃管的开放端，将玻璃管的开放端连接于橡胶管；(2)开启机械泵，开启三方向阀门，对玻璃管进行抽真空，使空气沿着一个方向流动，当玻璃管内的压力低于1Pa时，切换三方向阀门方向，打开主阀使气流沿着另一方向经扩散泵流动；(3)当玻璃管内压力低于3.0×10‑3Pa时，打开加热源对玻璃管的开放端进行加热，熔化的玻璃管在内外压力差的作用下向内塌陷，最后完全封闭，所得到的退火样品；(4)将得到的退火样品放于退火炉内，进行退火。