[发明专利]废料去除装置以及具有该废料去除装置的划片设备在审
| 申请号： | 201711383098.3 | 申请日： | 2017-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN109704556A | 公开（公告）日： | 2019-05-03 |
| 发明（设计）人： | 张喜童;卢光硕;李峻硕 | 申请（专利权）人： | 塔工程有限公司 |
| 主分类号： | C03B33/02 | 分类号： | C03B33/02;C03B33/10 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 黄艳;李英艳 |
| 地址： | 韩国庆*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种废料去除装置以及具有该废料去除装置的划片设备。本发明提供了一种从基板去除废料的废料去除装置，该废料去除装置包括：第一夹持阵列，其包括多个夹持单元；夹持单元安装单元，其上安装有第一夹持阵列；以及支撑单元，其支撑夹持单元安装单元，其中，夹持单元具有保持废料的夹具，且夹具的高度能够被调节，且本发明还提供一种具有该废料去除装置的划片设备。 | ||
| 搜索关键词： | 废料去除装置 划片设备 夹持单元 夹具 夹持 安装单元 单元安装 支撑单元 支撑夹 基板 去除 | ||
【主权项】：
1.一种从基板去除废料的废料去除装置，所述废料去除装置包括：第一夹持阵列，其包括多个夹持单元；夹持单元安装单元，其上安装有所述第一夹持阵列；以及支撑单元，其支撑所述夹持单元安装单元，其中，所述夹持单元具有保持废料的夹具，且所述夹具的高度能够被调节。
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