[发明专利]OLED堆叠膜的质量评估的系统、设备和方法

摘要

本公开提供用于评估有机发光二极管（“OLED”）器件的沉积膜层质量的技术。图像被捕捉并滤波以识别要分析的沉积层。表示该层的图像数据可以被可选地转换为亮度（灰度）数据。然后梯度函数被应用以强调沉积层中的不连续性。然后不连续性被与一个或多个阈值比较并用于确定沉积层的质量，然后可选的补救措施被应用。本公开技术可以在现场被应用，以在随后的制造步骤被实施之前快速地识别诸如分层的潜在缺陷。在可选的实施例中，依据缺陷是否被确定存在，可以采用补救措施。

主权项

一种计算机实施方法，用于监测沉积在衬底上的膜的质量，所述膜用于在衬底上制作的相应发光元件中形成一层，所述膜对于每个发光元件跨越预定尺寸的区域，所述计算机实施方法包括：对于每一个发光元件，在沉积之后获得所述膜的数字图像，所述数字图像涵盖所述一个发光元件的预定尺寸的区域；掩膜所述数字图像，以隔离与所述一个发光元件的预定尺寸的区域相对应的图像数据；处理所隔离的图像数据以强调所隔离的图像数据中大于非零阈值的梯度；根据所强调的大于非零阈值的梯度，识别缺陷的存在；以及根据所述识别，自动地识别沉积在衬底上的膜的质量问题。