[发明专利]带电粒子束装置和控制方法在审
| 申请号： | 201711391373.6 | 申请日： | 2017-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN108231512A | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 铃木秀和 | 申请（专利权）人： | 日本株式会社日立高新技术科学 |
| 主分类号： | H01J37/26 | 分类号： | H01J37/26 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供带电粒子束装置和控制方法。本发明的带电粒子束装置能够提高通过向试样照射带电粒子束进行的、与试样对应的作业的效率。该带电粒子束装置具有：照射部，其向试样照射带电粒子束；像形成部，其检测通过带电粒子束的照射而从试样产生的带电粒子，并形成基于该带电粒子的检测信号的图像；输入接受部，其接受观察条件；导出部，其根据所接受的观察条件和存储在存储部中的第一观察参数导出适于该观察条件的第二观察参数；以及控制部，其根据第二观察参数控制照射部。 | ||
| 搜索关键词： | 带电粒子束装置 观察条件 照射带电粒子束 带电粒子 照射部 观察 带电粒子束 输入接受部 参数控制 检测信号 存储部 导出部 形成部 导出 照射 存储 图像 检测 | ||
【主权项】：
1.一种带电粒子束装置，其具有：照射部，其向试样照射带电粒子束；像形成部，其检测通过所述带电粒子束的照射而从所述试样产生的带电粒子，并形成基于该带电粒子的检测信号的图像；输入接受部，其接受观察条件；导出部，其根据所接受的所述观察条件和存储在存储部中的第一观察参数导出适于该观察条件的第二观察参数；以及控制部，其根据所述第二观察参数控制所述照射部。
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