[发明专利]气相沉积炉及生产氧化亚硅的方法在审
| 申请号： | 201711418958.2 | 申请日： | 2017-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN109956477A | 公开（公告）日： | 2019-07-02 |
| 发明（设计）人： | 朱文博;银波;范协诚;王文;夏高强;薛明华 | 申请（专利权）人： | 新特能源股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/113 | 分类号： | C01B33/113 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 罗建民;邓伯英 |
| 地址： | 830011 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐国*** | 国省代码： | 新疆;65 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种气相沉积炉及生产氧化亚硅的方法，包括炉体，其特征在于，还包括炉体内设置的：加热腔室，用于加热原料反应生成产物并使得产物变成气体；沉积腔室，与加热腔室密封连接，且与加热腔室连通，沉积腔室内设置有用于沉积产物的沉积机构，沉积机构包括可转动的滚筒，升华的产物沉积到滚筒外表面，沉积腔室开设有沉积腔室开口，通过沉积腔室开口调节沉积腔室内的气氛；刮取机构，用于刮取滚筒外表面的沉积产物；接收机构，用于接收刮取机构刮取下来的沉积产物。本发明的滚筒可转动，从而使得沉积机构上沉积的产物均匀分布，相对于现有技术中的平面的沉积机构，本发明中的滚筒的侧面积大，从而大大增加了单位体积的滚筒上的沉积面积。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 滚筒 沉积腔室 刮取 沉积产物 加热腔室 氧化亚硅 沉积腔 可转动 反应生成产物 室内 滚筒外表面 气相沉积炉 加热原料 接收机构 开口调节 密封连接 沉积炉 平面的 炉体 连通 开口 体内 升华 生产 | ||
【主权项】：
1.一种气相沉积炉，包括炉体，其特征在于，还包括炉体内设置的：加热腔室，用于加热原料反应生成产物并使得产物变成气体；沉积腔室，与加热腔室密封连接，且与加热腔室连通，沉积腔室内设置有用于沉积产物的沉积机构，沉积机构包括可转动的滚筒，升华的产物沉积到滚筒外表面，沉积腔室开设有沉积腔室开口，通过沉积腔室开口调节沉积腔室内的气氛；刮取机构，用于刮取滚筒外表面的沉积产物；接收机构，用于接收刮取机构刮取下来的沉积产物。
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