[发明专利]涂布装置在审
| 申请号： | 201711420238.X | 申请日： | 2017-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN107913822A | 公开（公告）日： | 2018-04-17 |
| 发明（设计）人： | 郑俊丰 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | B05C1/08 | 分类号： | B05C1/08;B05C13/02 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司44304 | 代理人： | 孙伟峰 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种涂布装置，所述涂布装置包括第一载台、第二载台及涂布机构，所述涂布机构位于所述第一载台与所述第二载台之间，所述涂布机构沿与所述第一载台、第二载台平行的方向做往返运动并依次对所述第一载台、第二载台上的基板进行涂布。本发明提出的涂布装置在取走第一载台上完成涂布的基板的同时可以对第二载台上的基板进行涂布，从而减少了等待时间、提高利用率、增加产能。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
一种涂布装置，其特征在于，包括第一载台、第二载台及涂布机构，所述涂布机构位于所述第一载台与所述第二载台之间，所述涂布机构沿与所述第一载台、第二载台平行的方向做往返运动并依次对所述第一载台、第二载台上的基板进行涂布。
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