[发明专利]除静电装置及除静电方法有效
| 申请号： | 201711420309.6 | 申请日： | 2017-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN108260266B | 公开（公告）日： | 2020-12-25 |
| 发明（设计）人： | 田中孝佳;阿野诚士 | 申请（专利权）人： | 株式会社斯库林集团 |
| 主分类号： | H05F3/00 | 分类号： | H05F3/00 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 向勇;董雅会 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种除静电装置，能够根据基板主面的各区域适当地降低基板主面上积累的电荷的量。除静电装置(10)对带静电基板(W1)进行降低带静电量的处理。除静电装置(10)具有基板保持机构(1)和紫外线照射机构(2)。基板保持机构(1)保持基板(W1)。紫外线照射机构(2)能够以对基板(W1)的主面进行划分而成的多个区域互不相同的照射量对基板的主面照射紫外线。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种除静电装置，对带静电的基板进行降低带静电量的处理，其特征在于，具有：基板保持机构，保持基板；以及紫外线照射机构，能够对基板的多个区域以所述多个区域彼此间互不相同的照射量照射紫外线，所述多个区域是对基板的主面进行划分而形成的。
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