[发明专利]一种基板半板检测装置在审
| 申请号： | 201711428499.6 | 申请日： | 2017-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN107966458A | 公开（公告）日： | 2018-04-27 |
| 发明（设计）人： | 朱志飞;郭连俊;杨慎东 | 申请（专利权）人： | 苏州精濑光电有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/958 | 分类号： | G01N21/958;G01N21/01 |
| 代理公司： | 苏州知途知识产权代理事务所(普通合伙)32299 | 代理人： | 马刚强,陈瑞泷 |
| 地址： | 215100 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基板半板检测装置，包括底座、承载台、检测组件、探针组件及暂存工位；所述底座上设有轨道，所述承载台滑动设置于轨道上，且包含第一载台A及第二载台B；所述检测组件设置于轨道上方，包括龙门头和检测头，所述龙门头设置于底座上，所述检测头滑动设置于龙门头上；所述探针组件设置于轨道上方；所述暂存工位设置于所述轨的第二端。本发明提供的玻璃基板半板检测装置，能够实现玻璃基板半板的全自动检测，大大提高了玻璃基板灰度及缺陷检测的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基板半板 检测 装置 | ||
【主权项】：
一种基板半板检测装置，其特征在于，包括：底座(1)、承载台(2)、检测组件(3)、探针组件(4)及暂存工位(7)；所述底座(1)上设有轨道(11)，所述承载台(2)滑动设置于轨道(11)上，且包含第一载台A及第二载台B，所述第一载台A及第二载台B分别用于承载半张基板；所述轨道(11)具有相对的第一端和第二端；所述检测组件(3)设置于轨道(11)上方，包括龙门头(31)和检测头(32)，所述龙门头(31)设置于底座(1)上，所述检测头(32)滑动设置于龙门头(31)上，用于对半板进行光学检测；所述探针组件(4)设置于轨道(11)上方，用于对半板进行电性检测；所述暂存工位(7)设置于所述轨道(11)的第二端；其中，所述第一载台A及所述第二载台B依序在所述第一端与所述第二端之间移动，完成两张半板的检测；且所述第一载台A上的半板进行检测时，所述第二载台B位于所述暂存工位(7)。
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