[发明专利]评价装置及评价方法有效
| 申请号： | 201711445768.X | 申请日： | 2017-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN108254667B | 公开（公告）日： | 2020-12-04 |
| 发明（设计）人： | 冈田章;山下钦也;上野和起;野口贵也 | 申请（专利权）人： | 三菱电机株式会社 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 何立波;张天舒 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的目的在于提供一种能够抑制局部放电的发生的技术。评价装置具备：探针，其配置于上部件的下表面；侧壁部，其配置于上部件的下表面，将探针的侧方包围；以及第1气体供给部。第1气体供给部在侧壁部与工作台接近的情况下，能够朝向在工作台载置的被测定物供给气体，在侧壁部与工作台接触的情况下，能够对由工作台、侧壁部及上部件包围的空间供给气体。 | ||
| 搜索关键词： | 评价 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种评价装置，其对被测定物的电气特性进行评价，该评价装置具备：工作台，其载置所述被测定物；以及上部件，其配置于所述工作台上方，所述工作台和所述上部件能够彼此接近及远离，该评价装置还具备：探针，其配置于所述上部件的下表面；侧壁部，其配置于所述上部件的所述下表面，将所述探针的侧方包围；第1气体供给部，其在所述侧壁部与所述工作台接近的情况下，能够朝向在所述工作台载置的所述被测定物供给气体，在所述侧壁部与所述工作台接触的情况下，能够对由所述工作台、所述侧壁部及所述上部件包围的空间供给气体；以及评价部，其在通过所述第1气体供给部的气体的供给而使所述空间的压力上升的状态下，对与所述探针连接的所述被测定物的电气特性进行评价。
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