[发明专利]一种真空大气转换腔的充气装置及充气方法、真空溅射设备有效
| 申请号： | 201711447671.2 | 申请日： | 2017-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN108588667B | 公开（公告）日： | 2020-10-02 |
| 发明（设计）人： | 黄秋平 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/34;F17C5/06;F17C13/02;F17C13/04 |
| 代理公司： | 深圳汇智容达专利商标事务所(普通合伙) 44238 | 代理人： | 孙威;潘中毅 |
| 地址： | 518000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种真空大气转换腔的充气装置，包括：第一充气管路，第一充气管路上设有第一阀体；第二充气管路，第二充气管路上设有第二阀体；压力监控判断模块；氧气浓度监控判断模块；以及控制模块，其中：压力监控判断模块分别与真空大气转换腔和控制模块相连，氧气浓度监控判断模块分别与真空大气转换腔和控制模块相连，控制模块分别与第一阀体和第二阀体相连。本发明还公开了一种真空大气转换腔的充气方法和真空溅射设备。实施本发明的真空大气转换腔的充气装置及充气方法、真空溅射设备，能够对充气的气体进行切换，在有效解决膜质氧化问题的基础上消除安全隐患。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 大气 转换 充气 装置 方法 溅射 设备 | ||
【主权项】：
1.一种真空大气转换腔的充气装置，其特征在于，包括：接入所述真空大气转换腔中的第一充气管路，所述第一充气管路上设有第一阀体；接入所述真空大气转换腔中的第二充气管路，所述第二充气管路上设有第二阀体；用以判断所述真空大气转换腔中的气体压力值是否达到预设值的压力监控判断模块；用以判断所述真空大气转换腔中的氧气浓度值是否达到预设值的氧气浓度监控判断模块；以及用以根据所述压力监控判断模块或所述氧气浓度监控判断模块得出的判断信号，控制所述第一阀体和/或所述第二阀体的开启或关闭的控制模块，其中：所述压力监控判断模块分别与所述真空大气转换腔和所述控制模块相连，所述氧气浓度监控判断模块分别与所述真空大气转换腔和所述控制模块相连，所述控制模块分别与所述第一阀体和所述第二阀体相连。
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