[发明专利]一种foup装置有效
| 申请号： | 201711455320.6 | 申请日： | 2017-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN109979866B | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 徐方;华正雨;何书龙;边弘晔;赵治国;于大元 | 申请（专利权）人： | 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L21/677 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 许宗富 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种foup装置，包括foup盒，所述foup盒固定在基板上；还包括：上端夹持机构，所述上端夹持机构安装在所述foup盒所在的基板上，所述上端夹持机构安装在所述foup盒的上端，用于夹持固定所述foup盒；下端固定机构，所述下端固定机构安装在所述foup盒所在的基板上，且所述下端固定机构安装在所述foup盒的下端，用于固定所述foup盒，且所述下端固定装置和所述上端夹持装置相对设置使得所述foup盒在上下方向上无法移动；自动解锁机构，用于自动解锁所述foup盒。本发明提供的foup装置可以将foup盒完全固定，方便操作，且可以自动解锁foup盒。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 foup 装置 | ||
【主权项】：
1.一种foup装置，包括foup盒，所述foup盒固定在基板上，其特征在于，还包括：上端夹持机构，所述上端夹持机构安装在所述foup盒所在的基板上，且所述上端夹持机构安装在所述foup盒的上端，用于夹持固定所述foup盒；下端固定机构，所述下端固定机构安装在所述foup盒所在的基板上，且所述下端固定机构安装在所述foup盒的下端，用于固定所述foup盒，且所述下端固定装置和所述上端夹持装置相对设置使得所述foup盒在上下方向上无法移动；自动解锁机构，用于自动解锁所述foup盒。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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