[发明专利]一种foup盒自动解锁装置及foup盒有效
申请号: | 201711455331.4 | 申请日: | 2017-12-28 |
公开(公告)号: | CN109969593B | 公开(公告)日: | 2021-01-08 |
发明(设计)人: | 赵治国;何书龙;于大元;华正雨;陈睿;周昊 | 申请(专利权)人: | 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 |
主分类号: | B65D55/14 | 分类号: | B65D55/14;B65D43/26 |
代理公司: | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人: | 许宗富 |
地址: | 110168 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本发明提供了一种foup盒自动解锁装置和一种foup盒。所述foup盒自动解锁装置包括至少两组foup盒自动解锁机构,所述foup盒自动解锁机构安装在foup盒的一支撑板上;每一组foup盒自动解锁机构包括:气缸组件、解锁连接件、钥匙安装座、钥匙、轴承安装座、钥匙支撑基轴、转动轴承。本发明提供的foup盒自动解锁装置的结构合理,解锁出错率低,可靠性好、成本低。可实现foup盒自动解锁,而且降低了出错率低,可靠性好,保证硅片传输效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 foup 自动 解锁 装置 | ||
【主权项】:
1.一种foup盒自动解锁装置,其特征在于,所述foup盒自动解锁装置包括至少两组foup盒自动解锁机构,所述foup盒自动解锁机构安装在foup盒的一支撑板上;每一组foup盒自动解锁机构包括:气缸组件、解锁连接件、钥匙安装座、钥匙、轴承安装座、钥匙支撑基轴、转动轴承,所述轴承安装座固定或可转动地安装在所述支撑板上,所述气缸组件的尾部与所述支撑板连接,所述气缸组件的头部与所述解锁连接件的一端连接,所述解锁连接件的另一端与所述钥匙安装座连接,所述钥匙于所述钥匙安装座连接,所述钥匙安装座安装在所述轴承安装座上。
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