[发明专利]一种铜铟镓硒基系列靶材的制备方法在审
| 申请号： | 201711455520.1 | 申请日： | 2017-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN108179387A | 公开（公告）日： | 2018-06-19 |
| 发明（设计）人： | 文崇斌;朱刘;余芳;胡智向;曾成亮 | 申请（专利权）人： | 清远先导材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/06 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 赵青朵 |
| 地址： | 511517 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种铜铟镓硒基系列靶材的制备方法，先将物料粉体在特定的压力下进行了冷预压，不仅可以使物料成型，而且不会在热压的时候造成喷粉现象，对于提高铜铟镓硒基系列靶材的致密度有促进作用。同时，物料粉体是在特定的真空度下进行了两次特定温度的升温与特定时间的保温，然后在一定的压力下进行保温加压，保温降压后，降温至特定温度再减压，不仅提高了铜铟镓硒基系列靶材的纯度和致密度，而且有效提高了铜铟镓硒基系列靶材的抗压强度。实验结果表明，制备得到的铜铟镓硒基系列靶材的纯度在5N以上，致密度不低于98.0％，杂质含量不超过3.16ppm。 | ||
| 搜索关键词： | 铜铟镓硒 靶材 制备 保温 粉体 促进作用 减压 降压 喷粉 热压 预压 成型 加压 | ||
【主权项】：
1.一种铜铟镓硒基系列靶材的制备方法，包括：A)将物料粉体在5～10MPa下进行冷预压，得到冷预压后的粉体；所述物料粉体为铜铟混合粉体、铜镓混合粉体或铜铟镓混合粉体；B)在真空度小于3Pa的条件下，将所述冷预压后的粉体先第一次升温至300～400℃，第一次保温0.2～0.8h；再第二次升温至600～700℃，第二次保温55～65min后，开始保温加压，然后保温降压；所述保温加压的压力为45～60MPa；C)所述保温降压后，将温度降至100～300℃，然后减压，得到铜铟镓硒基系列靶材。
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