[发明专利]UV固化聚合物及其制备方法、低温固化光阻有效
| 申请号： | 201711462647.6 | 申请日： | 2017-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN108178805B | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 饶夙缔 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C08F8/00 | 分类号： | C08F8/00;C08F16/20;C08F2/48 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人： | 孙伟峰;吕颖 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种UV固化聚合物，其具有如式1所示的结构；其中，在式1中，M为肉桂酸酯单体或丙烯酸酯类单体，n为20～150的整数。本发明还提供了上述UV固化聚合物的制备方法。本发明的UV固化聚合物可应用于光阻的制作过程中并获得一种低温固化光阻；该UV固化聚合物能够提高光阻UV固化程度，因而相比现有技术中的一般光阻，可使光阻的固化温度由原本的210℃以上降低至120℃左右，大幅降低固化温度；同时，基于UV固化过程中存在氧阻聚效应，因此本发明的低温固化光阻仅需要通过主要UV固化、搭配低温加热的辅助固化的方式，即可加强整体固化效果，避免出现光阻表面固化不完全的缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | uv 固化 聚合物 及其 制备 方法 低温 | ||
【主权项】：
1.一种UV固化聚合物，其特征在于，具有如式1所示的结构：![]()
其中，在所示式1中，M为肉桂酸酯单体或丙烯酸酯类单体，n为20～150的整数。
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