[发明专利]蒸镀用掩模板在审
| 申请号： | 201711465247.0 | 申请日： | 2017-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN108198956A | 公开（公告）日： | 2018-06-22 |
| 发明（设计）人： | 朱东日 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/56 | 分类号： | H01L51/56;C23C14/04 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人： | 孙伟峰;武岑飞 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种蒸镀用掩模板，包括板体，所述板体包括一蒸镀面以及与蒸镀面相对的接触面，所述板体上阵列排布有用于蒸镀的蒸镀通孔，所述板体上位于蒸镀通孔之间的这部分板体为第一遮挡部，所述蒸镀通孔贯穿蒸镀面以及接触面，所述蒸镀通孔的开口尺寸小于有机发光二极管面板中隔离柱之间的开口尺寸，从而使蒸镀通孔上形成第二遮挡部。与现有技术相比，通过将蒸镀通孔的开口尺寸设计为小于隔离柱间的开口尺寸，从而使位于有机发光层中间位置的有机发光层的厚度得以降低，实现中间位置的厚度与靠近隔离柱位置的厚度相对均匀，提高蒸镀的均匀性，从而提高产品的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀 通孔 板体 隔离柱 蒸镀面 开口 有机发光层 掩模板 遮挡 有机发光二极管面板 尺寸设计 均匀性 良率 排布 贯穿 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀用掩模板，其特征在于：包括板体(1)，所述板体(1)包括一蒸镀面(6)以及与蒸镀面(6)相对的接触面(3)，所述板体(1)上阵列排布有用于蒸镀的蒸镀通孔(2)，所述板体(1)上位于蒸镀通孔(2)之间的这部分板体(1)为第一遮挡部(4)，所述蒸镀通孔(2)贯穿蒸镀面(6)以及接触面(3)，所述蒸镀通孔(2)的开口尺寸小于有机发光二极管面板中隔离柱之间的开口尺寸，从而使蒸镀通孔(2)上形成第二遮挡部(5)。
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