[发明专利]一种硅片的确定方法及装置有效

专利信息
申请号: 201711485367.7 申请日: 2017-12-30
公开(公告)号: CN108198907B 公开(公告)日: 2020-02-11
发明(设计)人: 吴华德;熊光涌 申请(专利权)人: 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18
代理公司: 11332 北京品源专利代理有限公司 代理人: 孟金喆
地址: 215129 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种硅片的确定方法及装置,该方法根据各个硅片的各个位置编码与硅片制备的电池片的光衰值、以及各个位置编码与硅片电阻率的对应关系,获得电阻率与光衰值的对应关系,并由电阻率与光衰值的对应关系,确定出硅片制备的电池片为光衰较低的电池片。从而能够降低硅片之间的差异,减少电池片的光衰波动,扩大工艺窗口,进而提高电池片的产能和良率,降低电池片的成本。
搜索关键词: 电池片 硅片 光衰 位置编码 电阻率 制备 硅片电阻率 工艺窗口 产能 良率
【主权项】:
1.一种硅片的确定方法,其特征在于,包括:/n获取各个硅片的各个位置编码与各个所述硅片制备的电池片的光衰值、以及各个所述位置编码与各个所述硅片电阻率的对应关系;/n根据各个所述位置编码与所述光衰值、以及各个所述位置编码与所述电阻率的对应关系,获取所述电阻率与所述光衰值的对应关系;/n根据所述电阻率与所述光衰值的对应关系,确定所述硅片制备的电池片为低光衰电池片;其中,根据所述电阻率与所述光衰值的对应关系,确定所述硅片制备的电池片为低光衰电池片,包括:/n根据所述电阻率与所述光衰值的对应关系,获取所述光衰值小于光衰预设阈值时所述硅片的电阻率阈值范围;/n当所述硅片的电阻率在所述电阻率阈值范围内时,确定所述硅片制备的所述电池片为低光衰电池片。/n
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