[发明专利]一种硅NPN型功率晶体管的封装制作方法有效
申请号: | 201711490822.2 | 申请日: | 2017-12-30 |
公开(公告)号: | CN108231612B | 公开(公告)日: | 2020-05-12 |
发明(设计)人: | 龚利汀;左勇强;易琼红 | 申请(专利权)人: | 无锡固电半导体股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60 |
代理公司: | 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104 | 代理人: | 曹祖良 |
地址: | 214028 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明属于半导体器件封装技术领域,涉及一种硅NPN型功率晶体管的封装制作方法,具体步骤为:装片‑键合‑塑封‑后固化‑去溢料‑电镀锡‑切筋‑测试‑包装出库;本发明通过采用多点点锡技术和多点装片拔高技术,提升了芯片与引线框架的欧姆接触,使芯片下面无空洞,保证了功率晶体管二次击穿耐量及极高的可靠性。 | ||
搜索关键词: | 一种 npn 功率 晶体管 封装 制作方法 | ||
【主权项】:
1.一种硅NPN型功率晶体管的封装制作方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤一. 装片:选取被封装芯片(3),将被封装芯片(3)装到引线框架(1)内;步骤二. 键合:采用全自动超声键合,通过键合引线将芯片电极与引线框架(1)的引线脚焊接;步骤三. 塑封:采用高导热性能环氧树脂塑封模具,将被封装芯片(3)上方包封起来,露出引线脚;步骤四. 后固化,将塑封后的芯片放入恒温烘箱内进行固化;步骤五. 去溢料;采用软化液进行飞边软化,然后在全自动高压水喷淋设备中去除溢料;步骤六. 电镀锡:在引线框架(1)表面电镀一层锡;步骤七. 切筋:采用两次分段式切筋,将若干个连在一起的引线框架(1)分隔开;步骤八. 测试后包装出库。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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