[发明专利]反射式激光光栅位移传感器在审
申请号: | 201711496955.0 | 申请日: | 2017-12-31 |
公开(公告)号: | CN108007363A | 公开(公告)日: | 2018-05-08 |
发明(设计)人: | 杜金昌 | 申请(专利权)人: | 杜金昌 |
主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 611630 四川省成都市蒲江*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 反射式激光光栅位移传感器,采用发散角小于0.3°的平行线偏振光源,由偏振分光棱镜与1/4波片完成入射与反射2路光的分离;光源发散角小于0.3°,平行度高,可以使主光栅与之相对运动的部件间距达到cm量级,偏振分光棱镜与1/4波片对入射与反射2路光分离度高,相互串扰小,因而光电传感器输出信号失真小,而达到提高位移分辨率目的。 | ||
搜索关键词: | 反射 激光 光栅 位移 传感器 | ||
【主权项】:
1.反射式激光光栅位移传感器,涉及一种位移传感器,其特征在于,基本构造光路包含发散角小于0.3°的平行线偏振光源,偏振分光棱镜,1/4波片,主光栅,副光栅,光电传感器。
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