[发明专利]反射式激光光栅位移传感器在审

专利信息
申请号: 201711496955.0 申请日: 2017-12-31
公开(公告)号: CN108007363A 公开(公告)日: 2018-05-08
发明(设计)人: 杜金昌 申请(专利权)人: 杜金昌
主分类号: G01B11/02 分类号: G01B11/02
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 611630 四川省成都市蒲江*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 反射式激光光栅位移传感器,采用发散角小于0.3°的平行线偏振光源,由偏振分光棱镜与1/4波片完成入射与反射2路光的分离;光源发散角小于0.3°,平行度高,可以使主光栅与之相对运动的部件间距达到cm量级,偏振分光棱镜与1/4波片对入射与反射2路光分离度高,相互串扰小,因而光电传感器输出信号失真小,而达到提高位移分辨率目的。
搜索关键词: 反射 激光 光栅 位移 传感器
【主权项】:
1.反射式激光光栅位移传感器,涉及一种位移传感器,其特征在于,基本构造光路包含发散角小于0.3°的平行线偏振光源,偏振分光棱镜,1/4波片,主光栅,副光栅,光电传感器。
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