[实用新型]高速甩臂机构有效
申请号: | 201720005081.3 | 申请日: | 2017-01-03 |
公开(公告)号: | CN206401286U | 公开(公告)日: | 2017-08-11 |
发明(设计)人: | 向军 | 申请(专利权)人: | 江苏新智达新能源设备有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/683 |
代理公司: | 常州市权航专利代理有限公司32280 | 代理人: | 袁兴隆 |
地址: | 214000 江苏省无锡市滨湖区隐*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种高速甩臂机构,包括第一驱动电机、固定平台和甩臂,第一驱动电机安装在固定平台上,还包括连接座、第一直线导向装置、连接杆、第二直线导向装置、支架和上下驱动装置,通过第一直线导向装置将连接座和第一驱动电机的输出轴连接;连接座的底板上设有轴承;通过第二直线导向装置将支架和所述固定平台连接;上下驱动装置固定设置在固定平台上;连接杆的上端和所述轴承的内圈固定连接,连接杆的下端和支架固定连接;通过将第一驱动电机直接驱动连接座转动进而提高了甩臂的移动速度,并在连接座上设置了上下驱动装置,方便了甩臂的取晶和固晶的操作,这种机构的结构简单,驱动效率高,动作重复精度高且机构运动可靠性高。 | ||
搜索关键词: | 高速 机构 | ||
【主权项】:
一种高速甩臂机构,包括第一驱动电机(1)、固定平台(2)和甩臂(3),所述第一驱动电机(1)安装在所述固定平台(2)上,所述第一驱动电机(1)的输出轴(9)竖直向下,其特征在于:还包括连接座(4)、第一直线导向装置、连接杆(5)、第二直线导向装置、支架(6)和上下驱动装置,所述第一直线导向装置竖直设置,通过所述第一直线导向装置将所述连接座(4)和所述第一驱动电机(1)的输出轴(9)连接;所述连接座(4)的底板上设有轴承(7);通过所述第二直线导向装置将所述支架(6)和所述固定平台(2)连接;所述上下驱动装置固定设置在所述固定平台(2)上可以驱动所述支架(6)上下运动;所述连接杆(5)的上端和所述轴承(7)的内圈固定连接,所述连接杆(5)的下端和所述支架(6)固定连接;所述甩臂(3)的前端设有取晶端(8),后端和所述连接座(4)固定连接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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