[实用新型]一种合金材料真空溅射镀膜机有效
| 申请号： | 201720030416.7 | 申请日： | 2017-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN206447933U | 公开（公告）日： | 2017-08-29 |
| 发明（设计）人： | 姚华光 | 申请（专利权）人： | 安徽普威达真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230094 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种合金材料真空溅射镀膜机，包括镀膜机开口端、镀膜腔体和镀膜机尾部，所述镀膜机开口端和镀膜腔体之间通过连接部件连接，所述镀膜腔体和镀膜机尾部之间通过连接部件连接，所述镀膜机开口端和镀膜腔体之间设有橡胶密封圈，所述镀膜腔体和镀膜机尾部之间设有橡胶密封圈，所述镀膜腔体的环状内表面铺设有溅射靶材，所述镀膜腔体的中间开口处的内侧设有防溅射环，所述防溅射环内侧表面铺设有橡胶密封圈。本实用新型公开了一种适用于各种材料的镀膜装置，使镀膜厚度更加均匀、快捷，便于镀膜工具的拆卸和组装，防止由于抽取时磨损导致镀膜层的磨损。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 合金材料 真空 溅射 镀膜 | ||
【主权项】：
一种合金材料真空溅射镀膜机，其特征在于：包括镀膜机开口端（100）、镀膜腔体（200）和镀膜机尾部（300），所述镀膜机开口端（100）和镀膜腔体（200）之间通过连接部件连接，所述镀膜腔体（200）和镀膜机尾部（300）之间通过连接部件连接，所述镀膜机开口端（100）和镀膜腔体（200）之间设有橡胶密封圈，所述镀膜腔体（200）和镀膜机尾部（300）之间设有橡胶密封圈，所述镀膜腔体（200）的环状内表面铺设有溅射靶材（202），所述镀膜腔体（200）的中间开口处的内侧设有防溅射环（201），所述防溅射环（201）内侧表面铺设有橡胶密封圈。
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