[实用新型]清洁装置有效
| 申请号： | 201720038126.7 | 申请日： | 2017-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN206632011U | 公开（公告）日： | 2017-11-14 |
| 发明（设计）人： | 邢滨;柏耸 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B15/04 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅,李时云 |
| 地址： | 300385 天津市西青*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型揭示了一种清洁装置。包括一本体，所述本体具有一工作区域，连接在所述本体上的第一工作部分和第二工作部分；所述第一工作部分向所述工作区域注入液体，所述第二工作部分从所述工作区域抽取液体。那么，通过第一工作部分和第二工作部分，可以对待处理产品表面的液体进行融合和抽取，从而有效去除待处理产品上的液体等残留物，并且基本上避免对待处理产品表面的损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 清洁 装置 | ||
【主权项】：
一种清洁装置，用于清洗一表面，其特征在于，包括一本体，所述本体具有一工作区域，连接在所述本体上的第一工作部分和第二工作部分；所述第一工作部分向所述工作区域注入液体，所述第二工作部分从所述工作区域抽取液体。
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