[实用新型]清洗系统及其化学气相沉积设备

摘要

本实用新型涉及一种清洗系统，用于真空管道清洗，包括检测装置、离化装置、抽吸装置和开关装置，所述检测装置设于真空管道上并用于检测真空管道内沉积物的含量，所述离化装置连接真空管道并用于将能与沉积物反应的清洁物质注入真空管道，所述抽吸装置连接并用于抽吸真空管道，所述开关装置设于真空管道上并用于在沉积物的含量超过预设上限值时切断真空管道。如此一来，清洗真空管道时，可以免去拆卸真空管道的麻烦，而且无需送外清洗，节省了清洗时间和成本，特别地，在线清洗可以缩短生产设备的停机时间，提高生产效率。

主权项

一种清洗系统，用于真空管道清洗，其特征在于，所述清洗系统包括：用于检测所述真空管道内沉积物含量的检测装置，设置于所述真空管道上；用于将能与所述沉积物反应的清洁物质注入所述真空管道的离化装置，连接所述真空管道；用于抽吸所述真空管道的抽吸装置，连接所述真空管道；以及用于在沉积物的含量超过预设上限值时切断所述真空管道的开关装置，设置于所述真空管道上。