[实用新型]一种用于功率器件晶圆烘烤的石英舟

摘要

本实用新型涉及载具技术领域，尤其是一种用于功率器件晶圆烘烤的石英舟。这种用于功率器件晶圆烘烤的石英舟，用于晶圆烘烤载体，包括上下分布的上端板和下端板，上端板和下端板之间安装有竖直设置的第一石英柱、第二石英柱、第三石英柱和第四石英柱。本实用新型结构简单，设计合理，操作简便，包括上下分布的上端板和下端板，上端板和下端板之间安装有竖直设置的第一石英柱、第二石英柱、第三石英柱和第四石英柱，晶圆则可以水平放置，便于流动性材料的烘烤；本实用新型采用镂空结构，节省材料，同时便于热空气的回流，提高炉管内温度的一致性；本实用新型材质使用石英玻璃，在高温下不会对晶圆产生有害物质。

主权项

一种用于功率器件晶圆烘烤的石英舟，用于晶圆烘烤载体，其特征在于：包括上下分布的上端板(1)和下端板(2)，上端板(1)和下端板(2)之间安装有竖直设置的第一石英柱(3)、第二石英柱(4)、第三石英柱(5)和第四石英柱(6)；所述上端板(1)和下端板(2)均包括水平部(8)，水平部(8)两端连接有竖直部(9)，水平部(8)和两个竖直部(9)首尾连接形成缺口(10)；所述第一石英柱(3)和第四石英柱(6)两端分别安装于上端板(1)和下端板(2)的竖直部(9)，第二石英柱(4)和第三石英柱(5)两端分别安装于上端板(1)和下端板(2)的水平部(8)；所述第一石英柱(3)和第四石英柱(6)上开设有槽口向对的凹槽(7)，第二石英柱(4)上设有开口朝向第一石英柱(3)的凹槽(7)，第三石英柱(5)上设有开口朝向第四石英柱(6)的凹槽(7)且与第一石英柱(3)；第一石英柱(3)、第二石英柱(4)、第三石英柱(5)和第四石英柱(6)的凹槽(7)彼此对应平行且等距设置；所述相邻两个凹槽(7)中心线之间的距离L为4.0～5.5mm。