[实用新型]一种制备石墨烯薄膜的装置

摘要

本实用新型公开了一种制备石墨烯薄膜的装置，其结构包括磁控板、直流磁环、高频框架、控频装置、光谱层、离子层、氧化膜层，所述高频框架两端设有直流磁环，所述控频装置两侧连接有磁控板，所述高频框架内部设有控频装置，所述控频装置包括气体管体、一位电极、氧化管体、内框板、氧化烯释体、二位电极，所述气体管体一端连接有一位电极外侧，所述一位电极内侧连接有氧化管体一侧，所述氧化管体内部设有氧化烯释体，所述离子层连接有氧化膜层，所述一位电极连接有内框板内侧，所述二位电极连接有内框板内侧，所述光谱层连接有离子层，所述光谱层连接有氧化膜层。本实用新型的有益效果是通过控频装置两侧连接有磁控板，做到了在运行中让其更加稳定、加快控制。

主权项

一种制备石墨烯薄膜的装置，其特征在于：其结构包括磁控板(1)、直流磁环(2)、高频框架(3)、控频装置(4)、光谱层(5)、离子层(6)、氧化膜层(7)，所述高频框架(3)两端设有直流磁环(2)，所述控频装置(4)两侧连接有磁控板(1)，所述高频框架(3)内部设有控频装置(4)，所述控频装置(4)包括气体管体(8)、一位电极(9)、氧化管体(10)、内框板(11)、氧化烯释体(12)、二位电极(13)，所述气体管体(8)一端连接有一位电极(9)外侧，所述一位电极(9)内侧连接有氧化管体(10)一侧，所述氧化管体(10)内部设有氧化烯释体(12)，所述离子层(6)连接有氧化膜层(7)。