[实用新型]一种石英坩埚清洗装置

摘要

本实用新型公开了一种石英坩埚清洗装置，包括箱体和位于箱体上方的罩部，罩部具有活动门，箱体上表面安装有基板，罩部内具有上圆环板、下圆环板、上L型臂和下L型臂，上L型臂安装在罩部顶部，下L型臂安装在液压缸的自由端上，液压缸安装在基板上，下圆环板固定在基板上，下圆环板上具有圆形导轨，上圆环板下表面具有与圆形导轨啮合的圆环形凹槽，基板上还安装有电机，电机轴上具有驱动所述上圆环板转动的摩擦辊；上L型臂的两个臂上均具有喷嘴，下L型臂的两个臂上均具有喷嘴；箱体内具有储液部和液体泵，每个喷嘴均与储液部连接。本实用新型的清洗装置清洗全面，且坩埚放置稳定。

主权项

一种石英坩埚清洗装置，其特征在于，包括箱体和位于箱体上方的罩部，所述罩部具有活动门，所述箱体上表面安装有基板，所述罩部内具有上圆环板、下圆环板、上L型臂和下L型臂，所述上L型臂通过上L型臂支架安装在罩部顶部，所述下L型臂安装在液压缸的自由端上，所述液压缸安装在基板上，所述下圆环板通过下圆环板支架固定在所述基板上，所述下圆环板上具有圆形导轨，所述上圆环板下表面具有与所述圆形导轨啮合的圆环形凹槽，使得所述上圆环板能够在所述下圆环板上转动，所述上圆环板用于放置石英坩埚，所述基板上还安装有电机，所述电机轴上具有驱动所述上圆环板转动的摩擦辊；所述上L型臂的两个臂上均具有喷嘴，所述下L型臂的两个臂上均具有喷嘴；所述箱体内具有储液部和液体泵，每个喷嘴均与储液部连接。