[实用新型]蚀刻装置有效
| 申请号： | 201720153167.0 | 申请日： | 2017-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN206541089U | 公开（公告）日： | 2017-10-03 |
| 发明（设计）人： | 廖文晟 | 申请（专利权）人： | 东旭（昆山）显示材料有限公司;东旭集团有限公司;东旭科技集团有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司11283 | 代理人： | 乔雪微,严政 |
| 地址： | 215300 江苏省苏州市昆山市开*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及电子工业领域，公开了一种蚀刻装置，包括蚀刻区，其允许待蚀刻物品在其中进行蚀刻处理，且该蚀刻区的上部为突起状，该突起的外侧面与蚀刻装置的外壁内侧是间隔开的；水封区，其由蚀刻装置的外壁内侧、突起的外侧面和蚀刻区的顶部形成，用于捕获由蚀刻区外漏的蚀刻气和/或蚀刻液。水封区还优选包括抽气孔，用于外排由所述蚀刻区外漏的蚀刻气和/或蚀刻液，且其高度高于水封区中流体的高度。通过在蚀刻装置中设置水封区，持续补给能够捕获蚀刻液和/或蚀刻气的流体并将蚀刻液和/或蚀刻气送至待处理处，可有效避免蚀刻液和/或蚀刻气外逸。在水封区高于流体的位置，优选设置一抽风口，可进一步降低蚀刻液和/或蚀刻气的外逸。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 装置 | ||
【主权项】：
一种蚀刻装置，该蚀刻装置包括：蚀刻区(1)，该蚀刻区(1)允许待蚀刻物件在其中进行蚀刻处理，且该蚀刻区(1)的上部呈突起状，所述突起的外侧面与所述蚀刻装置的外壁内侧是间隔开的；水封区(2)，该水封区(2)由所述蚀刻装置的外壁内侧、所述突起的外侧面和所述蚀刻区(1)的顶部所形成，该水封区(2)用于捕获由所述蚀刻区(1)外逸的蚀刻液和/或蚀刻气。
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