[实用新型]一种真空镀膜炉内弧源遮蔽装置有效

专利信息
申请号: 201720153973.8 申请日: 2017-02-21
公开(公告)号: CN206428317U 公开(公告)日: 2017-08-22
发明(设计)人: 付杰平 申请(专利权)人: 东莞市亮鑫五金加工有限公司
主分类号: C23C14/32 分类号: C23C14/32
代理公司: 北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙)11638 代理人: 张廷利
地址: 523000 广东省东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开了一种真空镀膜炉内弧源遮蔽装置,包括固定座、机架、螺杆、活动螺杆座、密封圈、电机、密封端盖、活动座一、连接块一、连接板、导轨一、活动座二、连接块二、支撑架、隔离支架、导轨二和侧隔离网;本实用新型具有结构合理简单、生产成本低、安装方便,功能齐全,对于一些高光,镜光货品的生产时,首先启动电机从而使螺杆旋转带动活动螺杆座左移,而活动螺杆座左移则通过活动座二和连接块二带动连接板和支撑架左移,而支撑架的左移则使隔离支架中的隔离网罩住靶体,从而减少产品表面上的金属离子,保障货品的光泽度,也就进一步的大大减少了光明产品的发朦,发雾现象,使此类产品品质得到了保障,满足客户的要求。
搜索关键词: 一种 真空镀膜 炉内弧源 遮蔽 装置
【主权项】:
一种真空镀膜炉内弧源遮蔽装置,包括真空室壁(1)和靶体(2),所述靶体(2)设在真空室壁(1)上面,其特征在于:还包括固定座(3)、机架(4)、螺杆(5)、活动螺杆座(6)、密封圈(7)、电机(8)、密封端盖(9)、活动座一(10)、连接块一(11)、连接板(12)、导轨一(13)、活动座二(14)、连接块二(15)、支撑架(16)、隔离支架(17)、导轨二(18)和侧隔离网(19);所述机架(4)位于靶体(2)右侧,所述机架(4)固定连接在真空室壁(1)上面;所述固定座(3)固定连接在机架(4)左上侧;所述螺杆(5)活动连接在机架(4)左上侧内部,所述螺杆(5)右端与电机(8)左侧输出轴固定连接,所述螺杆(5)左端活动连接在固定座(3)右侧,所述螺杆(5)上面活动连接有活动螺杆座(6);所述电机(8)固定连接在机架(4)右侧内部,所述电机(8)左侧输出轴外圆与所述机架(4)右侧孔之间设有密封圈(7);所述密封端盖(9)固定连接在机架(4)右侧内部入口处;所述导轨一(13)设在机架(4)底部;所述活动座一(10)活动连接在导轨一(13)右侧,所述活动座一(10)底部固定连接有连接块一(11);所述活动座二(14)位于活动座一(10)左侧,所述活动座二(14)活动连接在导轨一(13)上,所述活动座二(14)底部固定连接有连接块二(15),所述活动座二(14)上面固定连接在活动螺杆座(6)底部;所述连接板(12)上面右侧固定连接在连接块一(11)底部,所述上面左侧固定连接在连接块二(15),所述连接板(12)左端固定连接有支撑架(16);所述支撑架(16)上面固定连接有隔离支架(17);所述侧隔离网(19)位于靶体(2)左侧,所述侧隔离网(19)固定连接在导轨二(18)左端;所述导轨二(18)位于靶体(2)前后两侧,所述导轨二(18)固定连接在真空室壁(1)上面,所述导轨二(18)上面左右活动连接有隔离支架(17)。
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