[实用新型]一种真空镀膜圆柱靶

摘要

本实用新型公开了一种真空镀膜圆柱靶，包括盲孔一、弹性卡套一、活动锥套一、卡套座、平键一、凹槽、平键二、活动锥套二、连接杆、操作头、盲孔二、螺母二、弹性卡套二、螺杆二、弹簧、螺杆一、螺母一和加长圆柱靶；本实用新型具有结构合理简单、生产成本低、安装方便，功能齐全，对圆柱靶主体进行加长时，首先将圆柱靶主体底部加工盲孔一，而再加长圆柱靶顶部加工出盲孔二，而后将卡套座上下两侧的弹性卡套一和弹性卡套二分别塞入到盲孔一和盲孔二中，当螺母一和螺母二向内移动时，会使活动锥套一和活动锥套二向内移动，使其弹性卡套一卡紧盲孔一，弹性卡套二卡紧盲孔二，从而保证了圆柱靶主体与加长圆柱靶固定在一起进行使用。

主权项

一种真空镀膜圆柱靶，包括圆柱靶主体(1)，其特征在于：还包括盲孔一(2)、弹性卡套一(3)、活动锥套一(4)、卡套座(5)、平键一(6)、凹槽(7)、平键二(8)、活动锥套二(9)、连接杆(10)、操作头(11)、盲孔二(12)、螺母二(13)、弹性卡套二(14)、螺杆二(15)、弹簧(16)、螺杆一(17)、螺母一(18)和加长圆柱靶(19)；所述盲孔一(2)设在圆柱靶主体(1)底端中心；所述盲孔二(12)设在加长圆柱靶(19)顶部中心；所述卡套座(5)上侧设有弹性卡套一(3)，所述卡套座(5)下侧设有弹性卡套二(14)，所述卡套座(5)内部竖直设有凹槽(7)；所述弹性卡套一(3)外部与盲孔一(2)内部相连接，所述弹性卡套一(3)内部竖直活动连接有活动锥套一(4)；所述活动锥套一(4)外部通过平键一(6)与凹槽(7)相连接；所述弹性卡套二(14)外部与盲孔二(12)内部相连接，所述弹性卡套二(14)内部竖直活动连接有活动锥套二(9)；所述活动锥套二(9)外部通过平键二(8)与凹槽(7)相连接，所述活动锥套二(9)顶面与所述活动锥套一(4)底面之间设有弹簧(16)；所述连接杆(10)活动连接在加长圆柱靶(19)中心孔中，所述连接杆(10)底部设有操作头(11)，所述连接杆(10)顶部固定连接有螺杆二(15)；所述螺杆二(15)上面活动连接有螺母二(13)，所述螺杆二(15)顶部固定连接有螺杆一(17)；所述螺杆一(17)上面活动连接有螺母一(18)；所述螺母二(13)固定连接在活动锥套二(9)下侧中心内部；所述螺母一(18)固定连接在活动锥套一(4)上侧中心内部。